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Deposition of silica-silver nanocomposites by magnetron cosputtering
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10.1116/1.1829062
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    1 INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, 35020 Legnaro (PD), Italy and INFM Unità di Ricerca di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy
    2 INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, 35020 Legnaro (PD), Italy and Dipartimento di Fisica, Università di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy
    3 INFM Unità di Ricerca di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy and Dipartimento di Fisica, Università di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy
    4 INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, 35020 Legnaro (PD), Italy and Dipartimento di Ingegneria dei Materiali e delle Tecnologie Industrali, Università di Trento, Via Mesiano 77, 38050 Trento, Italy
    5 INFM Unità di Ricerca di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy and Dipartimento di Fisica, Università di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, Italy
    6 INFN Laboratori Nazionali di Legnaro, Viale dell’Università 2, 35020 Legnaro (PD), Italy and Dipartimento di Ingegneria dei Materiali e delle Tecnologie Industrali, Università di Trento, Via Mesiano 77, 38050 Trento, Italy
    a) Current address: Thin Films s.r.l., Via Svizzera 16, 35127 Padova, Italy.
    b) Author to whom correspondence should be addressed; Viale Università, 2-35020 Legnaro (PD), Italy; electronic mail: vomiero@lnl.infn.it
    J. Vac. Sci. Technol. B 23, 11 (2005); http://dx.doi.org/10.1116/1.1829062
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2004-12-28
2015-01-27
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Scitation: Deposition of silica-silver nanocomposites by magnetron cosputtering
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10.1116/1.1829062
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